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真空泵
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税号 |
目录名称 |
操作 |
|---|---|---|
8414100010 |
耐腐蚀真空泵，流量大于5m3/h,接触表面由特殊耐腐蚀材料制成 |
查看税率 |
8414100020 |
真空泵（抽气口≥38cm, 速度≥15m^3/s, 产生<10^-4托极限真空度） |
查看税率 |
8414100030 |
能在含UF6气氛中使用的真空泵，用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式，可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在 |
查看税率 |
8414100040 |
专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵，专用于同位素气体扩散浓缩 |
查看税率 |
8414100050 |
能在含UF6气氛中使用的真空泵，耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体 |
查看税率 |
8414100060 |
专门或主要用于半导体晶圆或平板显示屏制造的真空泵 |
查看税率 |
8414100090 |
其他真空泵 |
查看税率 |