专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释九（三）规定的机器及装置, 零件及附件：
税号 |
类别 |
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84861000 |
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84862000 |
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84863000 |
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84864000 |
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84869000 |
类目：> 第十六类 机器、机械器具、电气设备及其零件；录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、> 第八十四章 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件