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制造半导体器件或集成电路用的机器及装置

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制造半导体器件或集成电路用的机器及装置

税号

目录名称

操作

84862010

氧化、扩散、退火及其他热处理设备,制造半导体器件或集成电路用的

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84862020

薄膜沉积设备

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84862030

将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置

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84862040

刻蚀及剥离设备

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84862050

制造半导体器件或集成电路用离子注入机

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84862090

其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置

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