将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置：
税号 |
类别 |
|
|---|---|---|
84862031 |
制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机，步进光刻机 |
|
84862039 |
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置，制造半导体器件或集成电路用的 |
类目：> 第十六类 机器、机械器具、电气设备及其零件；录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、> 第八十四章 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件> 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释九（三）规定的机器及装置, 零件及附件> 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置